..…的共都非常感兴趣,缠看见州愕巾她们去参观一下。
其实也没有什么好看的。不过你们既然想看,那就去一趟儿好了。”范无病经不住她们的纠缠。于是就答应了下来。
当然,去看刚的制造过程,同去看种大白菜是不同的,范无病提前跟厂里面打了招呼,让他们安排一个方便的时间。
在王荣昌这里呆了两天之后,范无病就带着粹琪和童小芸去了范氏的芯片制造基地,去参观比的制造过程。
范氏的芯片制造基地,前后总投资过了十亿美元,由五千名工人历时两年多建造完成。期间一共使用了三万吨钢材和差不多十万立方米的混凝土。铺设了一百多万米长的线缆和二十万米长的管道。
这个制造基地的占地总面积约二十万平方米,相当于将近三十个标准足球场,其中一级无尘室面积达到了四万平方米。在这种大型无尘室里,每立方英尺空间内不小于零点五微米的尘埃数目不允许过一粒,比医院手术室还要干净一百倍。
为了保持无尘环境投入了很高成本,不过,并非所有的车间都需要这种无尘的环境。有趣的是,地面并非是我们平常所了解的硬地板,而是采冉的一种类似于网状的设计,但是非常的坚固,目的是保持空气的流通。房间的空气。每四分钟就要完全的更换一次。
经过了非常严格而繁琐的除尘以及其他环节之后,范无病和粹琪、童小芸在厂方工程师的陪同下。进入了其中的一个无尘车间,在这里工作人员必须穿防尘服,免得让晶圆遭受污染。
他们远远地看过去的时候。就现远处的技术人员怀里抱着一种盒子走来走去,据工程师介绍,这种盒子一般,里面装的就是晶圆。那些技术人员要做的,就是把这个眺安装在一个机器或者是叫处理工具当中。
基于成本方面的考虑,只有姚入口是在无尘房间中,而其他部分是在低于无尘等级的当中。
在工程师的提醒下,樟琪她们特意留意了一下刚才提到的”车间的地板,同时也注意到处理那些晶圆片的机器。也就是处理刚才技术人员抱着的弘。
整个工厂的无尘房间和机器数量是非常的可观的,因为制造一个刚晶圆片的工艺过程是非常的复杂的。
一个口“4刚要使用二十六道光刻掩膜工序。每一个工序又需要很多的处理步骤,再加上搀杂以及金属镀层等,最后一个凹。制造工序就有上百道。
很多车间中需要使用紫外线照射。这是必不可少的,但是在无尘车间中通常要使用白光。而范无病他们刚参观的那个无尘车间使用的则是橙色光,这又与其他的无尘车间使用的不同,据工程师解释,这是因为这里是晶圆加工的初步工序。而原因是刚的某一层对白光非常敏有
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